红外退火炉

特点：

1、采用国外知名品牌部件：循环水路设计，带过滤部件，延长清洗炉体水路；红外灯管寿命高达5000小时，峰值波长约为1.25微米，炉体工艺镜面抛光。

2、高精度控温：进口欧姆龙程序控温表，模糊逻辑PID控温，控温精度可达±0.1℃。

3、快速控温：高能流密度红外灯和镀金反射镜设计，使仪器可快速加热至1150℃；同时，炉体的热容小，配合水冷系统和风冷系统，可实现温度快速冷却，提高使用效率。

4、异常报警保护：炉膛配有炉体外表温度开关，水冷附加有流量开关。超温报警和流量异常时均会切断加热，保护炉膛。

5、洁净控温：非电阻炉加热，无绝热保温材料，更适合在洁净环境中使用。

6、可扩展性：带观察窗，可配CCD，采集光学信号；预留接口，可加载电学测量模块。

应用功能：

强诱导体薄膜的结晶化退火

注入离子后的扩散退火

半导体材料的烧成与退火条件研究

快速热退火

快速热氧化

快速热氮化

电极合金化

晶向化和坚化