PMS 椭偏在线监测装备

产品概述

椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。

特色功能

。支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告

。支持最大193-2500nm全波段分析测量

。支持多椭偏方案，多组合集成

。支持测头模块以及样件机台定制化

应用场景 

应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。