南京博蕴通 ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统
产品介绍:
ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统由滑动管式炉、石英真空室、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统和ALD系统组成。
这款ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统以Kanthal A1 电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,过零
触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时
真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。
开盖保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。
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型号 |
ALD-TL1200-1200-H-C-I |
ALD-TL1200-1200-H-C-II |
ALD-TL1200-1200-H-C-III |
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功率 |
4KW |
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TL1200 管式炉 |
炉管尺寸 |
Dia 60(OD) X1500mm |
Dia 80(OD) X1500mm |
Dia 100(OD) X1500mm |
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外形尺(LXDXH) |
1500X450X600 |
1500X450X600 |
1500X510X650 |
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电源电压 |
220V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
瑞典Kanthal A1 进口电阻丝 |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时, 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
(更换进口仪表,需要另外付费,选购)
FP93控温仪表(日本岛电) 欧陆仪表 触摸屏仪表 |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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最高温度 |
温区一:1200 ℃ 温区二:1200 ℃ |
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额定温度 |
温区一:1100 ℃ 温区二:1100 ℃ |
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升温速率 |
≤30 ℃/ Min (可根据要求修改) |
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推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
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热电偶型号 |
温区一:K 型 温区二:K型 |
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加热段长度 |
温区一:200mm 温区二:200 mm |
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电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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GX供气系统主要参数
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D07-7C 质量流量计
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量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) |
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耐压 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作(使用)压力 |
0.3MPa |
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线性 |
±0.5%F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个
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电源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽炉管真空度可达 |
10 -1Pa |
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真空挡板阀 |
KF25 |
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VRD-16真空泵 (方案一) |
型号 |
VRD-8 |
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极限分压强 |
5X10-2 Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
2.2L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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瑞典(INFICON) 皮拉尼陶瓷电容真空计
(方案二) |
型号 |
PCG554 |
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输入电压 |
24V 1A DC(配有220V变压器) |
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真空计接口 |
KF16 |
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数字显示 |
数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr |
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产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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检测气体 |
可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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响应时间 |
≤30ms |
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测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵机组(选购)
(方案一或方案二任选一个) |
机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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真空挡板阀 |
KF40 |
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机箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵
(方案一) |
分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S(对空气) |
600 |
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分子泵极限压强(Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压(MPa) |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启东压强 |
<100pa |
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分子泵前级真空泵TRP-24
(方案二) |
功率 |
0.75KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率(L/S) |
6 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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德国Pfeiffer真空泵 (方案二)
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电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽气速率(N2) |
33L/S |
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复合真空计
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复合真空计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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