YYT-21 四探针测试仪

1.测量范围：电阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可扩展)；方块电阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可扩展)；电导率：10^-5～10⁵s/cm；电阻：10^-5～10⁵ Ω；

2.可测晶片厚度：≤3mm

3.恒流源：电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调

4.数字电压表： 量程及表示形式000.00～199.99 mV；分辨力：10μV；输入阻抗＞1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

5.四探针探头基本指标： 间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％；
 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；

6.模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)： 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1字

7.整机测量标准不确定度： ≤4％

8.采用双电测测试标准。

9.软件功能：软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中。。

10.计算机通讯接口： 并行端口。

11. 外型尺寸：电气主机：460mm×320mm×100mm；

12.重量:16KG；